Глава РАН оценил перспективы развития микроэлектроники

Развитие собственной микроэлектроники не имеет альтернативы для обеспечения технологического суверенитета России, у отечественных разработчиков здесь есть серьезные и даже уникальные результаты, позволяющие с оптимизмом смотреть в будущее отрасли, и руководство государства полностью поддерживает ученых, заявил в интервью РИА Новости президент Российской академии наук (РАН) академик Геннадий Красников.»Сегодня микроэлектронные технологии очень важны, а когда мы говорим о технологической независимости государства, то им альтернативы просто нет», — подчеркнул он.

Красников рассказал о новых результатах, о которых будет идти речь на предстоящем в сентябре ежегодном российском форуме «Микроэлектроника» на территории федерального значения «Сириус».

«Во-первых, сегодня есть целая большая программа развития микроэлектронных технологий. Помимо производства и разработки интегральных микросхем, есть программа по созданию своего электронного машиностроения — то есть оборудования, которое традиционно находится под эмбарго для поставок в Россию. Данное направление очень важно для обеспечения технологического суверенитета, и у нас уже есть значительные результаты по ряду установок», — сказал глава РАН.

«Уже появился наш российский «степпер» для литографии, оборудование для атомарно-слоевого осаждения и травления, установки плазмохимического осаждения и травления различных пленок на пластинах различных диаметров, эпитаксиальные установки, в том числе для формирования нитрида галлия на кремнии. Сейчас идут большие работы с нашим участием по ионным имплантерам. Таких примеров много можно приводить», — добавил Красников.

Вторая программа – это особо чистые материалы, сказал он.

«Электронное производство работает круглосуточно, и материалы для него должны быть в постоянном доступе. Однако некоторые из них имеют такой срок хранения, что невозможно создать их стратегический запас. Это фоторезисты, различные химические растворы, проявители, поэтому здесь выполняется большая комплексная программа. На сегодняшний день у нас есть уникальные достижения, о которых мы будем докладывать правительству», — отметил Красников. Фоторезисты — полимерные светочувствительные материалы, необходимые для создания микроэлектронных изделий.

По словам Красникова, наиболее ключевое достижение – это разработка отечественного фоторезиста на длину волны 193 нанометра. «Причем такие фоторезисты есть буквально у единиц стран, даже Китай не может их производить. Это результат большой работы, которая длилась несколько лет, и продолжается по сей день», — отметил глава РАН.